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    ?????????????≤ 5 V
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    ????????????≤ 250ms
    ???????????????≤ 10s
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    ????????????????????1.5 mm+d 0.5‰


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    ???????20Hz
    ????????????≥ 4 ms??6)
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    ????????????CLASS-||
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    ???????????/????????0V-10V/4mA-20mA,≤300Ω

    ???????????12bit
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    1?x3) 4)
    ??????????
    10mm...1000mm



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